中国科学院微电子研究所2025年4至6月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院微电子研究所2025年4至6月政府采购意向公开如下：

序号	采购单位	采购项目 名称	采购品目	采购需求概况	预算金额 (万元)	预计 采购日期	备注
1	中国科学院微电子研究所	high-k介质电感耦合等离子体刻蚀设备	a02330300-电子工业生产设备	详见项目详情	900.000000	2025年06月	详见项目详情
2	中国科学院微电子研究所	干法去胶机	a02330300-电子工业生产设备	详见项目详情	200.000000	2025年06月	详见项目详情
3	中国科学院微电子研究所	高深宽比横向湿法刻蚀设备	a02330300-电子工业生产设备	详见项目详情	1210.000000	2025年06月	详见项目详情
4	中国科学院微电子研究所	12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备	a02330300-电子工业生产设备	详见项目详情	3800.000000	2025年04月	详见项目详情
5	中国科学院微电子研究所	离子刻蚀机	a02330300-电子工业生产设备	详见项目详情	810.000000	2025年05月	详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。