同创普润(上海)机电高科技有限公司(以下简称“同创普润”)成立于 2012 年,位
于上海市奉贤区南桥镇环城北路 1288 号,厂区占地面积 51207m2,建筑面积
63784.8m2。同创普润主要涉及金属材料制造、电子专用材料制造行业,现有项目主要
产品为高纯钽靶材(用锭)、钨靶材(用锭)、高纯铝靶材(用锭)、高纯铜靶材(用
锭),产能分别为110t/a、100t/a、200t/a和320t/a。公司现有职工215人,年工作日300
天,采用一班制,每班 12 小时。
高纯金属溅射靶材是半导体、平板显示器、太阳能电池等领域生产所需的关键材
料之一,是具有高附加值的功能性材料。高纯金属溅射靶材的国产化是近年来国家产
业政策大力支持和鼓励的方向,但由于该行业的技术门槛、资金门槛和人才门槛较
高,我国仅有极少量的本土企业,能够成功进入全球知名半导体芯片制造商、平板显
示器制造商的供应链体系,为其批量供应靶材产品。
在高纯铜及铜合金靶材(用锭)产品工艺的攻克阶段,同创普润母公司得到国家
科技部、国家工信部的大力支持,先后参与“14nm 及以下技术节点集成电路靶材用
超高纯 cu 材料研发与产业化”课题,“重点产品、工艺“一条龙”应用示范项目”两
项国家重大专项,并且成功完成。为转化研发成果,同创普润计划在上海工厂建设“超大规模集成电路溅射靶材专
用超高纯铜及铜合金材料”项目。上海工厂是同创普润唯一的高纯铜及铜合金靶材
(用锭)产品生产基地,其他地区没有备份工厂,也是国内唯一一家成功替代进口铜
溅射靶材的金属材料供给,是芯片企业的中国供应商,填补了国内空白,解决了国外
对我国特种材料卡脖子困境。
现有项目从事高纯铜靶材(用锭)的生产,排污许可证中核发的行业类别为
c3985 电子专用材料;本项目从事高纯铜及铜合金靶材(用锭)的生产,产品作为铜
附件1:超大规模集成电路溅射靶材专用超高纯铜及铜合金材料环境影响报告表公示稿%281%29.pdf8.4 mb, 下载次数1