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超大规模集成电路溅射靶材专用超高纯铜及铜合金材料

2025-02-23   地区:上海 【我要打印】

同创普润(上海)机电高科技有限公司(以下简称“同创普润”)成立于 2012 年,位

于上海市奉贤区南桥镇环城北路 1288 号,厂区占地面积 51207m2,建筑面积

63784.8m2。同创普润主要涉及金属材料制造、电子专用材料制造行业,现有项目主要

产品为高纯钽靶材(用锭)、钨靶材(用锭)、高纯铝靶材(用锭)、高纯铜靶材(用

锭),产能分别为110t/a、100t/a、200t/a和320t/a。公司现有职工215人,年工作日300

天,采用一班制,每班 12 小时。

高纯金属溅射靶材是半导体、平板显示器、太阳能电池等领域生产所需的关键材

料之一,是具有高附加值的功能性材料。高纯金属溅射靶材的国产化是近年来国家产

业政策大力支持和鼓励的方向,但由于该行业的技术门槛、资金门槛和人才门槛较

高,我国仅有极少量的本土企业,能够成功进入全球知名半导体芯片制造商、平板显

示器制造商的供应链体系,为其批量供应靶材产品。

在高纯铜及铜合金靶材(用锭)产品工艺的攻克阶段,同创普润母公司得到国家

科技部、国家工信部的大力支持,先后参与“14nm 及以下技术节点集成电路靶材用

超高纯 cu 材料研发与产业化”课题,“重点产品、工艺“一条龙”应用示范项目”两

项国家重大专项,并且成功完成。为转化研发成果,同创普润计划在上海工厂建设“超大规模集成电路溅射靶材专

用超高纯铜及铜合金材料”项目。上海工厂是同创普润唯一的高纯铜及铜合金靶材

(用锭)产品生产基地,其他地区没有备份工厂,也是国内唯一一家成功替代进口铜

溅射靶材的金属材料供给,是芯片企业的中国供应商,填补了国内空白,解决了国外

对我国特种材料卡脖子困境。

现有项目从事高纯铜靶材(用锭)的生产,排污许可证中核发的行业类别为

c3985 电子专用材料;本项目从事高纯铜及铜合金靶材(用锭)的生产,产品作为铜

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