hf气相刻蚀设备采购项目
国际招标公告
日期：2025年5月13日
招标编号：0618-254tc259q05m（ggpt2402001）
项目名称：hf气相刻蚀设备采购项目
中招国际招标有限公司受粤港澳大湾区（广东）量子科学中心委托对下列产品及服务进行国际公开招标，于2025年5月13日发布招标公告。本次招标采用公开招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
招标条件
项目概况：购置hf气相刻蚀设备采购1套。
资金到位或资金来源落实情况：资金已落实
项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件
招标内容
2.1项目实施地点：广东省深圳市
2.2招标产品列表：
| 序号 | 产品名称 | 主要技术参数 | 数量 | 交货时间 |
| 1 | hf气相刻蚀设备采购 | *5.4.1催化剂：水作催化剂，没有添加任何其他催化剂。 *5.4.2释放良率：无黏附的干法释放，mems结构100%完全释放。 *5.4.3刻蚀速率：悬臂结构大于0.3 um/min； 空白暴露氧化硅大于0.1um/min。 *5.4.4片内均匀性≤5% 1。 *5.4.5片间均匀性≤5%1。 *5.4.6选择比：对pecvd氮化硅30:1。 | 1套 | 合同生效后43周内 |
2.3简要技术规格：具体详见第八章“货物需求一览表及技术规格”。
投标人资格要求
3.1投标人应具备的资格或业绩：详见投标资料表。
3.2是否接受联合体投标：详见投标资料表。
3.3未在中招国际招标有限公司深圳分公司登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。
3.4未在本项目投标截止时间前，在中国国际招标网（www.chinabidding.com）成功注册的投标人，不得参加投标。
招标文件的领购
4.1招标文件领购开始时间：2025年5月13日（节假日除外）上午9时00分至11时30分，下午13时30分至17时00分（北京时间）
4.2招标文件领购结束时间：2025年5月20日17时00分（北京时间）
4.3招标文件领购地点：本项目采用线上发售招标文件方式，中招联合招标采购平台（www.365trade.com.cn）
4.4招标文件售价：本招标文件每包售价为800元人民币或110美元，售后不退。
投标文件的递交
5.1投标截止时间（开标时间）：2025年6月4日14时30分（北京时间）
5.2投标文件送达地点：中招国际招标有限公司深圳分公司（深圳市南山区科苑路16号东方科技大厦201）
5.3开标地点：中招国际招标有限公司深圳分公司（深圳市南山区科苑路16号东方科技大厦201）
发布公告的媒体
6.1本公告同时在《中国国际招标网》、《中国招标投标公共服务平台》上发布。投标人在投标前应在必联网（www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
联系方式
招标人：粤港澳大湾区（广东）量子科学中心
地址：广东省深圳市福田区槟榔道3号深港国际科技园
联系人：冯老师
联系方式：18915537056
招标机构：中招国际招标有限公司
地址：深圳市南山区科苑路16号东方科技大厦201
邮编：518057
联系人：李小玲、鲍永杰
电话：0755-27909972转8002、18118796997
电子邮箱：lixiaoling@cntcitc.com.cn
其他补充说明
8.1账号信息
人民币账户：
开户名称：中招国际招标有限公司深圳分公司
accountname：chinacntcinternationaltenderingco.,ltd.shenzhenbranch
人民币开户银行：中国工商银行股份有限公司深圳高新园北区支行
bank（rmb）：industrialandcommercialbankofchinalimitedshenzhengaoxinparknorthbranch
人民币帐号：4000093419100445451
account（rmb）：4000093419100445451
外币账户：
开户名称：中招国际招标有限公司
accountname：chinacntcinternationaltenderingcorporation
外币(美元)开户银行：中国银行总行营业部
bank（usd）：bankofchina,headoffice,bankingdepartment
外币(美元)帐号：a/c:778350014863swiftcode：bkchcnbj
account（usd）：778350014863swiftcode：bkchcnbj
外币(欧元)帐号：a/c:7778350149733swiftcode：bkchcnbj
account（euro）：778350149733swiftcode：bkchcnbj
8.2获取招标文件的方式
8.2.1招标文件获取方式：本项目采用线上发售招标文件方式，有意购买标书的潜在投标人，请务必于招标文件获取截止时间前按以下步骤操作完成招标文件购买：
（1）首次注册供应商：登录“中招联合招标采购平台（www.365trade.com.cn）”（以下简称“平台”），点击“供应商入口”进行免费注册；
（2）已在平台注册过的潜在投标人，登录后点击“寻找商机”，进行项目名称查询，找到项目点击“我要参与”，投标人选中需要投标的包“加入购物车”；
（3）在“我参与的项目”选择相应项目后的“购买招标文件”按钮，选择相应标包“去结算”并下单，招标文件售价800元人民币（本项目仅支持【网上支付】方式。平台交易服务费由中招联合信息股份有限公司出具增值税电子普通发票。标书款、平台交易服务费一经收取不予退还）。
8.2.3如有操作疑问请按以下方式与中招联合平台技术支持联系：客服电话：010-86397110、010-62108037（客服工作时间：周一至周五上午09时00分-11时30分，下午13时30分-17时00分）202504251523341984430104952