上海徐汇科盛德半导体有限公司(以下简称“科盛德”)成立于 1994 年 9 月,曾用名
上海杜邦光掩模有限公司、上海凸版光掩模有限公司,位于上海市徐汇区宜山路 800 号,
主要从事光掩模板的生产,用于制造半导体的集成电路。
目前,科盛德已经在上海市徐汇区宜山路 800 号厂区先后建设 6 个项目(具体详见“与
项目有关的原有环境污染问题”章节回顾),主要从事光掩模板的生产,湿法生产光掩模板
产能 30000 块/年、干法生产光掩模板 4000 块/年。
根据市场需求及企业发展计划,科盛德拟在现有项目区域建设“上海徐汇科盛德半导
体有限公司产能提升项目”(以下简称“本项目”)。本项目主要建设内容为利用现有生产设
施的同时新增/升级部分生产设备、改进部分环保设施等,保持湿法刻蚀生产生产能力的同
时,提升干法刻蚀生产能力。
本项目新增/升级部分设备,新增员工,达到提升产能的目的,生产工艺较现状有所改
进,正式投产后预计新增干法光掩模板 10600 块/年。本项目实施后,全厂年产湿法光掩模
板 30000 块/年、干法光掩模板 14600 块/年。
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