上海芯刻微材料技术有限责任公司（以下简称“芯刻微”）系上海新阳半导体
材料股份有限公司（以下简称“上海新阳”）的全资子公司，于 2018 年 5 月成立，
并于 2023 年 7 月将注册地址变更至上海化学工业区。
上海新阳是我国半导体关键工艺材料的知名龙头企业，创立于 1999 年 7 月，
是从事半导体行业所需电子化学品及配套设备的研发设计、生产制造和销售服务
的高新技术企业，拥有完整自主可控知识产权的电镀材料技术、清洗材料技术、
光刻胶材料技术和研磨液材料技术等四大电子化学品核心材料技术，在开发krf以
及 arf 干、湿法光刻胶和相关关键材料方面拥有丰富的经验。
为实现我国集成电路关键工艺化学材料的自主可控，上海新阳拟以芯刻微为
建设主体，在上海化工区 e6a-5 地块投资建设“年产 30500 吨集成电路关键工艺材
料项目”，
。本项目
在上海化工区的落地将实现国产光刻胶及配套试剂和湿电子化学品的产品化和批
量化生产，填补同类产品在国内市场的空白，为本土半导体产业链补上关键一环
附件1：芯刻微年产30500吨集成电路关键工艺材料项目环评报告书-20251028-征求意见公示版 (1).pdf38.5 mb, 下载次数0